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乙硅烷是一种无机化合物,化学式为H6Si2,在常温常压下为无色透明气体,具有刺激性气味。在空气中自燃,浓度在0.2%以上时燃烧会发出火焰,浓度低于0.2%时,则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与六氟化硫接触则爆炸。